清潔度是指零部件表面，在生產(chǎn)和運輸過(guò)程中附著(zhù)的污染物異 物，污染物異物分為固體顆粒物和液態(tài)殘留物。固體顆粒物，因其尺寸、數量、硬度不同，對摩擦、機械、液壓、流體等系統產(chǎn)生功能性損 傷，嚴重情況下可導致產(chǎn)品直接報廢并危及人員生命安全。
顯微鏡顆粒計數法的檢測設備主體，是由：照相機、顯微鏡、自動(dòng) 掃描臺、電腦、分析軟件組成的一臺顆粒計數顯微鏡（或稱(chēng)清潔度自動(dòng)分析顯微鏡系統）。被測顆粒物被過(guò)濾到一張通常是直徑為47mm的濾膜上，自動(dòng)掃描臺每次移動(dòng)時(shí)，顯微鏡視場(chǎng)下的濾膜都被拍攝，蕞后由軟件拼接成整張濾膜圖像，通過(guò)閾值對比將顆粒從背景中識別出來(lái)，通過(guò)自動(dòng)偏振機構識別帶金屬反射的顆粒。
本文主要通過(guò)對一臺顆粒計數顯微鏡（清潔度自動(dòng)分析顯微鏡）的分析，闡述采用不同顯微鏡、攝像機、軟件分析方法，導致的分析結果差異。
測量差異原因分析
1.設備自身是否準確？
設備上的攝像系統與自動(dòng)掃描臺的平面必須平行，且攝像系統的X 與Y軸也必須與自動(dòng)掃描臺的X和Y軸運行軌跡保持平行。這樣才能保證 圖形拼接時(shí)不出現“錯位”現象。相比正常設備，檢測到的顆?？倲盗看蠓黾?，小顆粒增加，大顆粒缺失。 通常，一臺顯微鏡在經(jīng)過(guò)長(cháng)時(shí)間、高頻率使用之后，可能會(huì )出現以上情 況。例如：人員磕碰、搬運、意外等。
2.像素分辨力差異。
每臺采用攝像系統拍攝并通過(guò)分析圖像得到測量結果的設備，都會(huì )因為攝像機設計原理而在邊緣產(chǎn)生單邊1個(gè)像素的不確定性。所以，在測量顆粒長(cháng)度時(shí)，會(huì )產(chǎn)生+/-2個(gè)像素的偏差。由此可得，像素越小、精度越 高、分析時(shí)間越久；像素尺寸越大，精度越低，分析時(shí)間越短。 因此，采用不同像素分辨力時(shí)，測量結果會(huì )產(chǎn)生差異。
