1、明視野法
觀(guān)察試樣直接反射光的方法。照明燈的光通過(guò)物鏡垂直導向而入射于試樣，來(lái)自試樣的直接反射光通過(guò)物鏡即被觀(guān)察到。
2、暗視野法
觀(guān)察試樣干涉及衍射光的方法。照明光線(xiàn)通過(guò)物鏡外圍斜射于試樣，來(lái)自試樣的干涉及衍射光即被觀(guān)察到。
適用檢測試樣上微細的擦痕或裂痕、檢測晶片等試樣鏡狀表面。
3、微分干涉對比法
這是將用明視野法可能觀(guān)察不到的試樣高度微小差異通過(guò)改善對比法變?yōu)榱Ⅲw或三維圖像的顯微觀(guān)察技術(shù)。照明光由微分干涉對比棱鏡變?yōu)閮墒苌涔?。這兩束衍射光使試樣高度差異造成在光路上的微小差異，而光路差異變?yōu)槔梦⒎指缮鎸Ρ壤忡R和檢偏振器的明暗對比。
再利用敏感色板，加強了高度差異的顏色變化。
適合檢測包括金相結構、礦物、磁頭、硬磁盤(pán)表面和晶片精制表面等有極其微細高度差異的試樣。
4、偏振光法
這是使用由兩個(gè)一組的濾色鏡(檢偏振器和起偏振器)形成偏光的顯微觀(guān)察技術(shù)。這些偏光軸始終保持相互垂直。一些試樣在兩個(gè)濾色鏡之間呈鮮明的對比?；蚋鶕p折射性能和定向(即、鋅結構的拋光試樣)呈現顏色。在檢偏振器插在目鏡前的觀(guān)察光路時(shí)，起偏振器位于垂直照明前面的光路。
適合觀(guān)察金相結構(即、球墨鑄鐵的石墨增長(cháng)形態(tài))，礦物和液晶(LCD)以及半導體材料。
5、熒光法
本技術(shù)用于發(fā)出熒光的試樣。
適合利用熒光法檢測晶片的污染，感光性樹(shù)脂的殘留物，以及檢測裂縫。
