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清潔度無(wú)塵室是污染控制的基礎?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。  

清潔度無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著(zhù)集成電路的級數的快速成長(cháng)，也增加了對生產(chǎn)環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1um.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

清潔度無(wú)塵室的主要作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。由于納米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造不0可0或缺的要素。