奧林巴斯MX63/MX63L半導體檢測顯微鏡
現今智能手機產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導體、平板顯示(FPD)、印制電路板(PCB)等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學(xué)設計等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì )有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
奧林巴斯MX63/MX63L半導體檢測顯微鏡具備有如下的特點(diǎn):
模塊化:全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應用而設計,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結構內,鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過(guò)防靜電處理。
人性化:滿(mǎn)足人體工學(xué)的設計
新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學(xué)設計,可以快速設置調整和簡(jiǎn)易控制。更換物鏡以及調整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置,因此用戶(hù)在使用過(guò)程中可始終保持透過(guò)目鏡觀(guān)察而無(wú)須松開(kāi)對焦旋鈕。電動(dòng)物鏡轉盤(pán)旋轉迅速,在縮短檢測間隔時(shí)間的同時(shí)還可讓操作者的手始終在晶圓下方,降低可能存在的污染風(fēng)險。
憑借這些強大的觀(guān)察功能和簡(jiǎn)單的操作特性,MX63/MX63L顯微鏡能夠實(shí)現快速高效的實(shí)現大尺寸樣品檢測。
從不可見(jiàn)到可見(jiàn):MIX觀(guān)察與采集
新MX63/MX63L顯微鏡是該系列*支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品,由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀(guān)察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀(guān)察方法結合使用。在很多應用中,MIX能夠幫助用戶(hù)觀(guān)察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。
長(cháng)壽命高強度白色LED照明:始終*的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源,兼顧低功耗和長(cháng)壽命的優(yōu)點(diǎn),而且其穩定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復現提供了保障。
功能性:適合所有晶園尺寸
特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于zui大晶圓直徑200mm,MX63L可用于zui大晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機,實(shí)現可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進(jìn)行檢測。
利用HDR采集明亮區域和暗光區域
利用*的圖像處理技術(shù),高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異,以減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺(jué)品質(zhì),從而有助于生
成具有專(zhuān)業(yè)級的報告。
快速尋找焦點(diǎn):聚焦輔助
在光程內插入聚焦輔助可以輕松無(wú)誤地實(shí)現諸如裸晶片之類(lèi)低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡(jiǎn)單。
利用光強管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現快速觀(guān)察
對于常規顯微鏡,使用者每次觀(guān)察都需要調整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀(guān)察方法設定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調用的設置即可幫助使用者節省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。
人體工學(xué)設計實(shí)現更快、更舒適的操作
更換物鏡以及調整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置,因此使用者在使用過(guò)程中無(wú)須松開(kāi)對焦旋鈕或將頭從目鏡上移開(kāi)。
從基本測量到高級分析
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?;谶@一想法,即便入門(mén)級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀(guān)的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕,圖像分析任務(wù)即可快速精準完成??纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時(shí)間,使操作人員的精力集中在檢測工作上。
高效的報告創(chuàng )建
創(chuàng )建報告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測量還長(cháng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀(guān)的報告創(chuàng )建功能,能夠根據預先設定的模板多次創(chuàng )建專(zhuān)業(yè)復雜的報告。編輯非常簡(jiǎn)單,報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖像進(jìn)行數碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中,通過(guò)電子郵件進(jìn)行數據傳遞更加方便。
獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?;谶@一想法,即便入門(mén)級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀(guān)的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕,圖像分析任務(wù)即可快速精準完成??纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時(shí)間,使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套*的獨立系統。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制,在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時(shí)讓實(shí)驗室空間得到充分利用。
直觀(guān)的顯微鏡控制:舒適且使用方便
顯微鏡設置操作簡(jiǎn)單,讓用戶(hù)調整和再調用系統配置更加輕松。